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超纯氮气纯化氮气净化机概述：
本系列装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。
鉴于用户对最终氮气的要求，本装置采用特制小颗粒催化剂，二级并联装置来保证设备最终纯气氧含量及露点要求，缺点是压降有点高，约等于0.1mpa
本方案采用化学除氧工艺，加微量氢再生
二．超纯氮气纯化氮气净化机工艺流程图
三．超纯氮气纯化氮气净化机技术参数：
原料氮气：
1、处理气量：≥60Nm3/h
2、原料氮气纯度：液氮纯度＞99.999%
3、工作压力：≤0.8Mpa
4、电 源：380V
5，占地面积：长1400mmx宽1100mmx高2000mm
纯化后氮气纯度符合并高于GB/T8979-2008高纯氮99.9999%指标
1、处理气量：≥60Nm3/h
2、氮气纯度：含氧量≤0.1PPm H2＜0.1ppm
露 点≤-70℃ CO2＜0.1ppm
3、工作压力：≤0.8Mpa
4、电 源：380V 50HZ
5、除氧器工作温度：常温
6、干燥器工作温度：常温
7、除氧器再生温度：300℃
8、干燥器再生温度：350℃
9、装机功率：10KW
四．超纯氮气纯化氮气净化机工艺流程简介：
本装置采用复式流程，一组工作同时另一组再生，两塔交替工作，
再生周期24小时，以保证设备的连续供气。
原料氮气首先通过一氧化碳燃烧塔用特殊催化剂，催化燃烧生成二氧化碳经除氧器吸附去除氮气中的氧气，再经过干燥器吸附去除原料氮中的水份和部分碳系化合物，得到的干燥纯度极高的氮气经过滤器送工艺点使用。
除氧干燥阶段复式流程介绍：
Ⅰ组工作：原料氮气首先通过原料气流量计经Ⅰ组进口阀进入Ⅰ组除氧器和干燥器吸附去除原料氮中的氧、水份和部分碳系物质得到干燥的高纯氮气，再经过滤器送工艺点使用。
Ⅱ组再生：取一部分干燥的氮气通过再生流量计同时加入少量的氢气再生除氧器和干燥器，再生气通过放空阀放空，再生结束后停止加热，等待Ⅰ组工作24小时后互相切换，交替进行工作再生。
